優點

· 最佳耐熱特性

· 優異的抗化學特性

· 低Outgassing 特性

· 優異之抗Plasma特性

缺點：

· 耐低溫特性較差

· 原料價格較高

· 生產難度較高 · 全氟系列產品廣泛地運用于半導體產業及信息相關產業所運用, 運用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。